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射頻(RF)微晶P高速率高晶化率鍍膜,大產能異質結PECVD提效降本之路

欄目:重大新聞 發布時間:2023-08-02
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      近日,捷佳偉創常州HJT中試線成功研發出具有行業先進水平的射頻(RF)微晶P工藝,微晶P薄膜沉積速率超過2埃/秒,同時晶化率穩定在50%以上。常州中試線制備的基于雙面微晶的12BB異質結電池平均效率達到25.1%(德國ISFH(哈梅林)標準),電池良品率穩定在98%以上。

 


      射頻(RF)微晶P的高速高質量沉積,一直是困擾異質結大產能板式PECVD的技術難點,通過本次技術突破,捷佳偉創的大產能射頻板式PECVD預計將比市面上主流設備減少1-2個微晶P腔體。射頻(RF)微晶P設備工藝均勻性達到6%以內,穩定性和重復性均在中試線量產設備上得到充分驗證,達到行業先進技術水平。

 

                       


     一直以來,捷佳偉創在積極推進HJT的產業化發展。公司在濕法設備、PECVD/CAT-CVD、PVD/RPD/PAR、絲網印刷/銅電鍍/新型組件焊接設備方面進行深入研究,具備HJT電池整線交鑰匙工程的能力。公司近期已中標全球頭部光伏企業量產型HJT整線訂單,標志著公司在HJT全路線裝備和工藝技術上取得突破,獲得市場及客戶認可。



      此次射頻(RF)微晶P高速率高晶化率工藝取得突破,進一步增強了公司在HJT設備領域的競爭優勢。捷佳偉創始終堅持實干與創新為一體,堅持“逢山開路,遇河架橋”的創新精神,積極改革設備技術、持續擴大研發范圍,為光伏行業的穩定發展注入生生不息的源動能。


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