近日公司子公司創(chuàng)微微電子(常州)有限公司(以下簡稱:創(chuàng)微微電子)在競標中技術與商務綜合評估領先,中標半導體碳化硅整線濕法設備訂單并順利完成合同簽署。
此次中標,標志著創(chuàng)微微電子6/8吋槽式及單片全自動濕法刻蝕清洗設備已經(jīng)覆蓋了碳化硅器件刻蝕清洗全段工藝,具備替代進口設備的能力。自2020年創(chuàng)立以來,創(chuàng)微微電子依托捷佳偉創(chuàng)集團平臺,共享人才與技術,專注于整合國內(nèi)外濕法技術與資源,引進臺灣地區(qū)、韓國、日本等專家團隊,不斷攻堅克難,自主創(chuàng)新,成績斐然。
創(chuàng)微微電子的6/8寸全自動濕法刻蝕清洗設備優(yōu)勢明顯。第一,設備有優(yōu)異的顆粒去除能力、金屬污染控制能力、刻蝕均勻性控制能力,相關性能指標對標國際一線大廠;第二,設備國產(chǎn)化零部件占比高并已獲得多家一線FAB廠量產(chǎn)驗證,具有成本優(yōu)勢;第三,設備擁有自主開發(fā)軟件,可根據(jù)客戶工藝需求定制設備排程,實現(xiàn)客戶產(chǎn)能最大化。
未來,創(chuàng)微微電子將繼續(xù)以“開發(fā)滿足客戶未來需求的技術及產(chǎn)品”為核心戰(zhàn)略,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的集成電路濕法設備,助力中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。